Moses - Fertigungsverfahren der Mikrotechnik

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Modul / Version
#50275 / #3

Gültigkeit
Seit WS 2018/19

Verfügbare Sprache(n)
Deutsch

Titel des Moduls
Fertigungsverfahren der Mikrotechnik

Leistungspunkte
6

Modulverantwortliche*r
Kühne, Stefan

Benotung
Benotet

Prüfungsform
Portfolioprüfung

Lehrsprache(n)
Deutsch

Zugehörigkeit

Fakultät
Fakultät V

Institut
Institut für Werkzeugmaschinen und Fabrikbetrieb (IWF)

Fachgebiet
35361700 FG Mikro- und Feingeräte

Prüfungsausschuss
Maschinenbau

Kontakt

Sekretariat
PTZ 7

Ansprechpartner*in
Kühne, Stefan

E-Mail-Adresse
kuehne@mfg.tu-berlin.de

Webseite

http://www.mfg.tu-berlin.de/menue/lehre/fertigungsverfahren_der_mikrotechnik/

Lernergebnisse

Nach erfolgreichem Modulabschluss besitzen Studierendenn: - Kenntnisse über die Grundlagen moderner Fertigungsverfahren, die aus der Halbleitertechnologie in die Mikrotechnik eingeführt worden sind und über den Aufbau und die Funktionsweisen der wichtigsten Geräte und Anlagen sowie über die Prozesse und die erzielbaren Ergebnisse - Kenntnisse über die Anwendungen anhand von Produktbeispielen - Fertigkeiten in der Anwendung von Methoden und im Umgang mit ausgewählten Geräten in den Übungen - Kompetenzen hinsichtlich der Anwendungsmöglichkeiten der Verfahren - Kenntnisse hinsichtlich der erreichbaren Resultate sowie der Grenzen der mikrotechnischen Verfahren

Lehrinhalte

Die Vorlesung konzentriert sich auf moderne mikrotechnische Fertigungsverfahren und -anlagen, wobei die Funktionen und die Einsatzgebiete der Geräte und Fertigungsabläufe vorgestellt und erläutert werden: Reinraumtechnik, Photo- und Elektronenstrahllithographie, LIGA-Technik, Oberflächen- und Beschichtungstechniken, Trockenätzverfahren, Siliziummikromechanik, Aufbau- und Verbindungstechniken. Zu allen Verfahren werden Produktbeispiele vorgestellt. In den Übungen werden Aufgaben aus den Bereichen Photolithographie, Beschichtungstechnik und Ätzverfahren unter Reinraumbedingungen durchgeführt.

Modulbestandteile

Pflichtbereich

Die folgenden Veranstaltungen sind für das Modul obligatorisch:

Lehrveranstaltungen	Art	Nummer	Turnus	Sprache	SWS	ISIS	VVZ
Experimentelle Übungen zu den Fertigungsverfahren der Mikrotechnik	UE	3536 L 701	WiSe	de	2
Fertigungsverfahren der Mikrotechnik / Production processes in microtechnology	VL	3536 L 701	WiSe	de	2

ISIS-Kurssuche nach Veranstaltungen des Moduls

Arbeitsaufwand und Leistungspunkte

Experimentelle Übungen zu den Fertigungsverfahren der Mikrotechnik (UE):

Aufwandbeschreibung	Multiplikator	Stunden	Gesamt
Präsenzzeit	15.0	2.0h	30.0h
Vor-/Nachbereitung	15.0	4.0h	60.0h
			90.0h(~3 LP)

Fertigungsverfahren der Mikrotechnik / Production processes in microtechnology (VL):

Aufwandbeschreibung	Multiplikator	Stunden	Gesamt
Präsenzzeit	15.0	2.0h	30.0h
Vor-/Nachbereitung	15.0	4.0h	60.0h
			90.0h(~3 LP)

Der Aufwand des Moduls summiert sich zu 180.0 Stunden. Damit umfasst das Modul 6 Leistungspunkte.

Beschreibung der Lehr- und Lernformen

Vorlesung: Darstellung der Inhalte mit zahlreichen Beispielen aus Entwicklung und Produktion Übungen in Blockveranstaltungen: Einführung in ausgewählte Anlagen und Prozesse aus der Photolithographie, Dünnschichttechnik und Ätztechnik, Durchführung der Verfahren unter Reinraumbedingungen im mikrotechnischen Labor des Helmholtz-Zentrums Berlin für Materialien und Energie in Berlin-Adlershof

Voraussetzungen für die Teilnahme / Prüfung

Wünschenswerte Voraussetzungen für die Teilnahme an den Lehrveranstaltungen:

a) obligatorisch: keine b) wünschenswert: gute physikalische Kenntnisse

Verpflichtende Voraussetzungen für die Modulprüfungsanmeldung:

Dieses Modul hat keine Prüfungsvoraussetzungen.

Abschluss des Moduls

Benotung

Benotet

Prüfungsform

Portfolioprüfung

Art der Portfolioprüfung

100 Punkte insgesamt

Sprache(n)

Deutsch

Prüfungselemente

Name	Punkte	Kategorie	Dauer/Umfang
Protokoll	50	schriftlich	Keine Angabe
Prüfung	50	mündlich	45 min

Notenschlüssel

Notenschlüssel »Notenschlüssel 2: Fak IV (2)«

Gesamtpunktzahl	1.0	1.3	1.7	2.0	2.3	2.7	3.0	3.3	3.7	4.0
100.0pt	95.0pt	90.0pt	85.0pt	80.0pt	75.0pt	70.0pt	65.0pt	60.0pt	55.0pt	50.0pt

Prüfungsbeschreibung (Abschluss des Moduls)

Mündliche Prüfung der Vorlesungsinhalte am Semesterende, Beurteilung der Übungsprotokolle Zusammenfassung zu einer Gesamtnote

Dauer des Moduls

Für Belegung und Abschluss des Moduls ist folgende Semesteranzahl veranschlagt:
1 Semester.

Dieses Modul kann in folgenden Semestern begonnen werden:
Wintersemester.

Maximale teilnehmende Personen

Die maximale Teilnehmerzahl beträgt 100.

Anmeldeformalitäten

Werden in der Vorlesung organisiert.

Literaturhinweise, Skripte

Skript in Papierform

Verfügbarkeit: verfügbar

Zusätzliche Informationen:
in der Vorlesung

Skript in elektronischer Form

Verfügbarkeit: verfügbar

Literatur

Empfohlene Literatur
Keine empfohlene Literatur angegeben

Zugeordnete Studiengänge

Semester:

Zeige auch ausgelaufene Studiengänge und StuPOs

Diese Modulversion wird in folgenden Studiengängen verwendet:

Studiengang / StuPO	StuPOs	Verwendungen	Erste Verwendung	Letzte Verwendung
Computational Engineering Science (Informationstechnik im Maschinenwesen) (B. Sc.)	1	37	WS 2018/19	SoSe 2025
Maschinenbau (B. Sc.)	1	24	WS 2018/19	SoSe 2025
Physikalische Ingenieurwissenschaft (B. Sc.)	2	24	WS 2018/19	SoSe 2025
Technomathematik (B. Sc.)	1	14	WS 2018/19	SoSe 2025
Verkehrswesen (B. Sc.)	1	22	WS 2018/19	SoSe 2025

Studierende anderer Studiengänge können dieses Modul ohne Kapazitätsprüfung belegen.

Maschinenbau insbesodere Schwerpunkt Mikrotechnik

Sonstiges

Literatur: Hinweise in VL Die Vorlesung wird in Deutsch und Englisch angeboten.