Bemerkung

Literatur Empfehlung: Milton Ohring, The materials science of thin films.

Inhalt

Die Vorlesung gibt eine Einführung in die industriellen Verfahren der Schicht- und Oberflächen­technik zur Herstellung von Dünnschicht-Bauelementen wie Solarzellen, Flachbildschirmen, LED- und OLED Lichtquellen.

Die Vorlesung gliedert sich in die folgenden Teile:

• Einführung zu den Produkten der industriellen Oberflächentechnik: Photovoltaik, Displays, Flachbildschirme, Beleuchtungstechnik, Sensorik
• Depositionsverfahren (vakuumbasierte Beschichtungsverfahren: PVD, CVD, PECVD, PLD. ALD; Atmosphärendruckverfahren: Sol-Gel, Ink-Jet, AP-CVD, Galvanik)
• Materialgrundlagen: Keramischen Schichten, transparente Leiter, Halbleiter, Metalle
• Struktur-Eigenschaftsbeziehungen
• Materialcharakterisierung von Dünnschicht-Bauelementen
• Neue Anwendungen: Neue Konzepte für Solarzellen, Oxidische Elektronik