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Fundamentals of Vacuum and Plasma Process Technologies (Vorlesung) Fundamentals of Vacuum and Plasma Process Technologies (Vorlesung)

Veranstaltung

LV-Nummer
Gesamt-Lehrleistung 37,33 UE; 37,33 aUE
Semester SoSe 2026
Veranstaltungsformat LV / Vorlesung
Gruppe Fundamentals of Vacuum and Plasma Process Technologies (Vorlesung)
Organisationseinheiten Technische Universität Berlin
↳ Fakultät IV
↳     Institut für Hochfrequenz und Halbleiter-Systemtechnologien
↳         34325800 FG S-Professur Technologie für Dünnschicht-Bauelemente
URLs
Label
Ansprechpartner*innen
Szyszka, Bernd
Verantwortliche
Sprache Englisch

Termine (1)


Mi. 15.04 - 15.07.26, wöchentlich, 10:00 - 12:00

Charlottenburg
,

34325800 FG S-Professur Technologie für Dünnschicht-Bauelemente

37,33 UE; 37,33 aUE
Einzeltermine ausklappen
Legende
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Mo.
Di.
Mi.
Fundamentals of Vacuum and Plasma Process Technologies (Vorlesung)
Fundamentals of Vacuum and Plasma Process Technologies (Vorlesung)
Charlottenburg, HFT-TA 512
Do.
Fr.
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