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Fertigungsverfahren der Mikrotechnik

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#50275 / #1

SS 2014 - SS 2018

Deutsch

Fertigungsverfahren der Mikrotechnik

6

Uhlmann, Eckart

Benotet

Portfolioprüfung

Deutsch

Zugehörigkeit


Fakultät V

Institut für Werkzeugmaschinen und Fabrikbetrieb (IWF)

35361700 FG Mikro- und Feingeräte

Maschinenbau

Kontakt


PTZ 7

Kühne, Stefan

kuehne@mfg.tu-berlin.de

http://www.mfg.tu-berlin.de/menue/lehre/fertigungsverfahren_der_mikrotechnik/

Lernergebnisse

Die Studierenden besitzen nach erfolgreichem Modulabschluss: - Kenntnisse über die Grundlagen moderner Fertigungsverfahren, die aus der Halbleitertechnologie in die Mikrotechnik eingeführt worden sind und über den Aufbau und die Funktionsweisen der wichtigsten Geräte und Anlagen sowie über die Prozesse und die erzielbaren Ergebnisse, Kenntnisse über die Anwendungen anhand von Produktbeispielen - Fertigkeiten in der Anwendung von Methoden und im Umgang mit ausgewählten Geräten in den Übungen - Kompetenzen in der Einschätzung der Anwendungsmöglichkeiten der Verfahren Kompetenzen in der Beurteilung der erreichbaren Resultate sowie der Grenzen der mikrotechnischen Verfahren.

Lehrinhalte

Die Vorlesung konzentriert sich auf moderne mikrotechnische Fertigungsverfahren und -anlagen, wobei die Funktionen und die Einsatzgebiete der folgender Geräte und Fertigungsabläufe vorgestellt und erläutert werden: Reinraumtechnik, Photo- und Elektronenstrahllithographie, LIGA-Technik, Oberflächen- und Beschichtungstechniken, Trockenätzverfahren, Siliziummikromechanik, Aufbau- und Verbindungstechniken. Zu allen Verfahren werden Produktbeispiele vorgestellt. In den Übungen werden Aufgaben aus den Bereichen Photolithographie, Beschichtungstechnik und Ätzverfahren unter Reinraumbedingungen durchgeführt.

Modulbestandteile

Pflichtbereich

Die folgenden Veranstaltungen sind für das Modul obligatorisch:

LehrveranstaltungenArtNummerTurnusSpracheSWS ISIS VVZ
Experimentelle Übungen zu den Fertigungsverfahren der MikrotechnikUE3536 L 701WiSede2
Fertigungsverfahren der MikrotechnikVL3536 L 701WiSede2
ISIS-Kurssuche nach Veranstaltungen des Moduls

Arbeitsaufwand und Leistungspunkte

Experimentelle Übungen zu den Fertigungsverfahren der Mikrotechnik (UE):

AufwandbeschreibungMultiplikatorStundenGesamt
Präsenzzeit15.02.0h30.0h
Vor-/Nachbereitung15.04.0h60.0h
90.0h(~3 LP)

Fertigungsverfahren der Mikrotechnik (VL):

AufwandbeschreibungMultiplikatorStundenGesamt
Präsenzzeit15.02.0h30.0h
Vor-/Nachbereitung15.04.0h60.0h
90.0h(~3 LP)
Der Aufwand des Moduls summiert sich zu 180.0 Stunden. Damit umfasst das Modul 6 Leistungspunkte.

Beschreibung der Lehr- und Lernformen

Vorlesung: Darstellung der Inhalte mit zahlreichen Beispielen aus Entwicklung und Produktion Übungen in 3 Blockveranstaltungen: Einführung in ausgewählte Anlagen und Prozesse aus der Photolithographie, Dünnschichttechnik und Ätztechnik, Durchführung der Verfahren unter Reinraumbedingungen im mikrotechnischen Labor des Helmholtz-Zentrums Berlin für Materialien und Energie in Berlin-Adlershof

Voraussetzungen für die Teilnahme / Prüfung

Wünschenswerte Voraussetzungen für die Teilnahme an den Lehrveranstaltungen:

a) obligatorisch: keine b) wünschenswert: gute physikalische Kenntnisse

Verpflichtende Voraussetzungen für die Modulprüfungsanmeldung:

Dieses Modul hat keine Prüfungsvoraussetzungen.

Abschluss des Moduls

Benotung

Benotet

Prüfungsform

Portfolioprüfung

Art der Portfolioprüfung

Keine Angabe

Sprache(n)

Deutsch

Prüfungselemente

NamePunkte/GewichtKategorieDauer/Umfang
Keine Prüfungselemente angegeben

Notenschlüssel

Keine Angabe

Prüfungsbeschreibung (Abschluss des Moduls)

Mündliche Prüfung der Vorlesungsinhalte am Semesterende, Beurteilung der Übungsprotokolle und schriftliche Befragung zu den Übungen Zusammenfassung zu einer Gesamtnote

Dauer des Moduls

Für Belegung und Abschluss des Moduls ist folgende Semesteranzahl veranschlagt:
1 Semester.

Dieses Modul kann in folgenden Semestern begonnen werden:
Wintersemester.

Maximale teilnehmende Personen

Die maximale Teilnehmerzahl beträgt 100.

Anmeldeformalitäten

UE: werden in den ersten VL-Stunden organisiert

Literaturhinweise, Skripte

Skript in Papierform

Verfügbarkeit:  verfügbar
Zusätzliche Informationen:
in der Vorlesung

 

Skript in elektronischer Form

Verfügbarkeit:  nicht verfügbar

 

Literatur

Empfohlene Literatur
Keine empfohlene Literatur angegeben

Zugeordnete Studiengänge


Diese Modulversion wird in folgenden Studiengängen verwendet:

Studiengang / StuPOStuPOsVerwendungenErste VerwendungLetzte Verwendung
Dieses Modul findet in keinem Studiengang Verwendung.

Studierende anderer Studiengänge können dieses Modul ohne Kapazitätsprüfung belegen.

Maschinenbau besonders Schwerpunkt Mikrotechnik

Sonstiges

Literatur: Hinweise in VL