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#40571 / #4

SS 2016 - WS 2016/17

Deutsch, Englisch

Mikrosystemtechnik - Bauelemente

12

Thewes, Roland

Benotet

Portfolioprüfung

Deutsch, Englisch

Zugehörigkeit


Fakultät IV

Institut für Energie und Automatisierungstechnik

34311700 FG Sensorik und Aktuatorik / Messtechnik

Keine Angabe

Kontakt


E 3

Kerst, Uwe

lehre@se.tu-berlin.de

Lernergebnisse

Qualifikationsziel des Moduls „Mikrosystemtechnik-Bauelemente" ist der Erwerb grundlegender Kenntnisse und eines Gesamtüberblicks hinsichtlich der wichtigsten Prinzipien und Ausführungsformen von mikrosystemrelevanten Bauelementen, wie Sensoren und Aktuatoren, optoelektronischen Halbleiterbauelementen und Halbleiter-Leistungsbauelementen. Die Studierenden werden in die Lage versetzt, system- bzw. anwendungsbezogene Bauelemente auszuwählen und einzusetzen. Durch die Vertiefung des Wissens aus den Vorlesungen durch Simulations-, Charakterisierungs- und Debug-Methoden erlangen die Teilnehmer umfassende Kenntnisse von der prinzipiellen Methodik des Bauelementedesigns, der Funktion und dem Aufbau der Bauelemente sowie deren Anwendung.

Lehrinhalte

In der IV „Smart Sensors & Actuators" werden Sensoren und Aktuatoren insbesondere auf Silizium- und CMOS-Basis besprochen. Die Inhalte erstrecken sich jeweils von festkörperphysikalischen Grundlagen, Funktionsprinzipien, Bauformen und Kenngrößen bis hin zu adäquaten integrierten Schaltungstechniken für die Auslesung und den Betrieb der Sensoren und Aktuatoren. Beispiel für die diskutierten Gebiete sind u.a. integrierte Temperatursensoren, PTAT (proportional to absolute temperature)-Schaltungen, genauigkeitsbegrenzende Artefakte und deren Kompensation, elektrothermische Filter, Photodioden und Photodiodenarrays für CMOS-Kameras, CCD, aktive Pixel und deren Arbeitsweise, CMOS-Imaging, Beschleunigungssensoren (Accelerometer) und Gyroskope, MEMS-Technologie, Digital Micro Mirror Arrays, DLP Technologie. Die IV wird in englischer Sprache abgehalten. Die VL „Halbleiter-Leistungsbauelemente" beinhaltet Aufbau, Funktionsweise, statische/dynamische Eigenschaften, Kenn-/Grenzwerte sowie Charakterisierung und Anwendung von HL-Leistungsbauelementen: Dioden, Thyristoren, Bipolartransistoren, MOSFETs, IGBTs, GTOs, u.a. Im Mittelpunkt der VL „Debug of Integrated Circuits on Silicon Level" stehen Techniken für die elektrische/physikalische Funktionsanalyse (Schwerpunkte: Scan Chain, FIB Circuit Edit und Photon Emission). Die VL wird in englischer Sprache abgehalten. Die VL „Grundlagen der optoelektronischen Halbleiterbauelemente" behandelt die Absorption von Strahlung in Halbleitern, Photoleitung, Lumineszenz, spektrale Verteilung der Empfindlichkeit, Photoelemente, Solarzelle, Lumineszenz-Diode und Halbleiter-Laser. Die IV „CMOS Biosensors" befasst sich mit den Funktionsprinzipien und der CMOS-Integration verschiedener Sensoren für die Biomoleküldetektion, für das Interfacing mit Nervenzellen und Nervengewebe und für prothetische Devices, ferner wird eingeführt in grundlegende biologische Mechanismen, die zum Verständnis der Wirkungsweise der entsprechenden Bauelemente nötig sind. Die IV wird in englischer Sprache abgehalten. Zur Vertiefung des Themenkomplexes "FEM Simulation von Mikrosensoren und -aktuatoren" (FEM: Finite Element Methode) werden in der gleichnamigen IV aufbauend auf einführenden Grundlagen Kenntnisse vermittelt zu Simulationsmethoden, der Planung und Durchführung einer FEM-Simulation, dem Umgang mit dem Simulationswerkzeug ANSYS (approximierte Geometrieerstellung, effiziente Vernetzung), Auswertung und Bewertung einer FEM-Simulation.

Modulbestandteile

Pflichtbereich

Die folgenden Veranstaltungen sind für das Modul obligatorisch:

LehrveranstaltungenArtNummerTurnusSpracheSWS ISIS VVZ
Smart Sensors and Actuators I+IIIV0430 L 412WiSeKeine Angabe4

Wahlpflichtbereich

Aus den folgenden Veranstaltungen müssen 6 Leistungspunkte abgeschlossen werden.

LehrveranstaltungenArtNummerTurnusSpracheSWS ISIS VVZ
CMOS-BiosensorsIV0430 L 500WiSeKeine Angabe4
Debug von Halbleiterbauelementen in integrierten Schaltungen (Debug of Integrated Circuits on Silicon Level)VL0431 L 500SoSeKeine Angabe2
FEM-Simulation von Mikrosensoren und -aktuatorenIV0430 L 442WiSeKeine Angabe4
Grundlagen der optoelektronischen HalbleiterbauelementeVL0431 L 013WiSeKeine Angabe2
Leistungshalbleiter-BauelementeVL0431 L 600SoSeKeine Angabe2
Miniaturisierte Energieversorgung / HarvestingVL0431 L 732 SoSeKeine Angabe2
Technologie der Dünnschicht-BauelementeVL0431 L 007WiSe/SoSeKeine Angabe2

Arbeitsaufwand und Leistungspunkte

CMOS-Biosensors (IV):

AufwandbeschreibungMultiplikatorStundenGesamt
Präsenzzeit15.04.0h60.0h
Vor-/Nachbereitung15.04.0h60.0h
Vorbereitungszeit für Prüfung1.060.0h60.0h
180.0h(~6 LP)

Debug von Halbleiterbauelementen in integrierten Schaltungen (Debug of Integrated Circuits on Silicon Level) (VL):

AufwandbeschreibungMultiplikatorStundenGesamt
Präsenzzeit15.02.0h30.0h
Vor-/Nachbereitung15.04.0h60.0h
90.0h(~3 LP)

FEM-Simulation von Mikrosensoren und -aktuatoren (IV):

AufwandbeschreibungMultiplikatorStundenGesamt
Präsenzzeit15.04.0h60.0h
Vor-/Nachbereitung15.08.0h120.0h
180.0h(~6 LP)

Grundlagen der optoelektronischen Halbleiterbauelemente (VL):

AufwandbeschreibungMultiplikatorStundenGesamt
Präsenzzeit15.02.0h30.0h
Vor-/Nachbereitung15.04.0h60.0h
90.0h(~3 LP)

Leistungshalbleiter-Bauelemente (VL):

AufwandbeschreibungMultiplikatorStundenGesamt
Präsenzzeit15.02.0h30.0h
Vor-/Nachbereitung15.04.0h60.0h
90.0h(~3 LP)

Miniaturisierte Energieversorgung / Harvesting (VL):

AufwandbeschreibungMultiplikatorStundenGesamt
Präsenzzeit15.02.0h30.0h
Vor-/Nachbereitung15.04.0h60.0h
90.0h(~3 LP)

Smart Sensors and Actuators I+II (IV):

AufwandbeschreibungMultiplikatorStundenGesamt
Präsenzzeit15.04.0h60.0h
Vor-/Nachbereitung15.04.0h60.0h
Vorbereitungszeit für Prüfung1.060.0h60.0h
180.0h(~6 LP)

Technologie der Dünnschicht-Bauelemente (VL):

AufwandbeschreibungMultiplikatorStundenGesamt
Präsenzzeit15.02.0h30.0h
Vor-/Nachbereitung15.04.0h60.0h
90.0h(~3 LP)
Der Aufwand des Moduls summiert sich zu 360.0 Stunden. Damit umfasst das Modul 12 Leistungspunkte.

Beschreibung der Lehr- und Lernformen

Die Lehrinhalte werden durch Vorlesungen, durch integrierte Veranstaltungen und Projekte vermittelt. Die jeweilige Unterrichtssprache ist dem Vorlesungsverzeichnis zu entnehmen.

Voraussetzungen für die Teilnahme / Prüfung

Wünschenswerte Voraussetzungen für die Teilnahme an den Lehrveranstaltungen:

Voraussetzung für die Teilnahme sind elektrotechnische und halbleitertechnische teilweise auch schaltungstechnische Grundlagenkenntnisse aus dem Bachelor-Studiengang Elektrotechnik.

Verpflichtende Voraussetzungen für die Modulprüfungsanmeldung:

Dieses Modul hat keine Prüfungsvoraussetzungen.

Abschluss des Moduls

Benotung

Benotet

Prüfungsform

Portfolioprüfung

Art der Portfolioprüfung

Keine Angabe

Sprache(n)

Deutsch, Englisch

Prüfungselemente

NamePunkte/GewichtKategorieDauer/Umfang
(Ergebnisprüfung) IV "FEM-Simulation von Mikrosensoren und -aktuatoren", schriftliche Ausarbeitung20Keine AngabeKeine Angabe
(Lernprozessevaluation) IV "CMOS-Biosensors", mündliche Rücksprache50Keine AngabeKeine Angabe
(Lernprozessevaluation) IV "Smart Sensors and Actuators I+II", mündliche Rücksprache (Pflicht)50Keine AngabeKeine Angabe
(Lernprozessevaluation) VL "Debug of Integrated Circuits on Silicon Level", mündliche Rücksprache25Keine AngabeKeine Angabe
(Lernprozessevaluation) VL "Grundlagen der optoelektronischen Halbleiterbauelemente", mündliche Rücksprache25Keine AngabeKeine Angabe
(Lernprozessevaluation) VL "Leistungshalbleiter-Bauelemente", mündliche Rücksprache25Keine AngabeKeine Angabe
(Lernprozessevaluation) VL "Miniaturisierte Energieversorgung / Harvesting", mündliche Rücksprache25Keine AngabeKeine Angabe
(Lernprozessevaluation) VL "Technologie der Dünnschicht-Bauelemente", mündliche Rücksprache25Keine AngabeKeine Angabe
(Punktuelle Leistungsabfrage) IV "FEM-Simulation von Mikrosensoren und -aktuatoren", schriftlicher Test30Keine AngabeKeine Angabe

Notenschlüssel

Keine Angabe

Prüfungsbeschreibung (Abschluss des Moduls)

Prüfungsform ist die Portfolioprüfung. Insgesamt können 100 Portfoliopunkte erreicht werden. Die Gesamtnote gemäß § 47 (2) AllgStuPO wird nach dem Notenschlüssel 1 der Fakultät IV ermittelt. Die mündliche Rücksprache zu "Smart Sensors and Actuators I+II" ist Pflicht für alle Modulteilnehmer.

Dauer des Moduls

Für Belegung und Abschluss des Moduls ist folgende Semesteranzahl veranschlagt:
2 Semester.

Dieses Modul kann in folgenden Semestern begonnen werden:
Winter- und Sommersemester.

Maximale teilnehmende Personen

Dieses Modul ist nicht auf eine Anzahl Studierender begrenzt.

Anmeldeformalitäten

Die Anmeldung zur Modulprüfung erfolgt über QISPOS. Für die Teilnahme an der IV "FEM-Simulation von Mikrosensoren und -aktuatoren" ist wegen beschränkter Teilnehmerzahl eine Anmeldung erforderlich. Aktuelle Informationen zur IV und zur Anmeldung: http://www.avt.tu-berlin.de

Literaturhinweise, Skripte

Skript in Papierform

Verfügbarkeit:  verfügbar
Zusätzliche Informationen:
Hinweise zu Skripten werden zu den einzelnen Veranstaltungen veröffentlicht

 

Skript in elektronischer Form

Verfügbarkeit:  nicht verfügbar

 

Literatur

Empfohlene Literatur
In den jeweiligen Vorlesungsskripten angegeben.

Zugeordnete Studiengänge


Diese Modulversion wird in folgenden Studiengängen verwendet:

Studiengang / StuPOStuPOsVerwendungenErste VerwendungLetzte Verwendung
Dieses Modul findet in keinem Studiengang Verwendung.

Studierende anderer Studiengänge können dieses Modul ohne Kapazitätsprüfung belegen.

Sonstiges

Keine Angabe