Moses - Herstellungstechnologien für Halbleitersensoren

Anzeigesprache

Diese Modulbeschreibung gilt nicht im aktuellen Semester.

Die Modulbeschreibung gilt nur für den Zeitraum WS 2015/16 - WS 2015/16. Die Version für das aktuelle Semester (SoSe 2024) finden Sie hier: Modulbeschreibung des SoSe 2024

Modul / Version:
#40208 / #1

Gültigkeit:
WS 2015/16 - WS 2015/16

Standard-Anzeigesprache:
Deutsch

Titel des Moduls:
Herstellungstechnologien für Halbleitersensoren

Leistungspunkte:
6

Modulverantwortliche*r:
Lang, Klaus-Dieter

Benotung:
benotet

Prüfungsform:
Mündliche Prüfung

Zugehörigkeit

Fakultät:
Fakultät IV

Institut:
Institut für Hochfrequenz und Halbleiter-Systemtechnologien

Fachgebiet:
34325000 FG Werkstoffe der hetero-Systemintegration

Prüfungsausschuss:
Keine Angabe

Kontakt

Sekretariat:
TIB 4/2-1

Ansprechpartner*in:
Krahn, Sandra

E-Mail-Adresse:
lehre@whs.tu-berlin.de

Webseite:

https://www.tmp.tu-berlin.de/menue/lehre/

Lernergebnisse

Kenntnisse .. - .. über wesentliche Verfahren und Technologien der Mikrosystemtechnik und der Aufbau und Verbindungstechnik - .. über werkstoffwissenschaftliche Grundlagen der Materialien der Mikrosystemtechnik - .. über den Aufbau multifunktionaler Systeme

Lehrinhalte

Bestandteile des Moduls sind eine Vorlesung und ein Praktikum in den Laboren des Forschungsschwerpunkts Technologien der Mikroperipherik. Vorlesung „Herstellungstechnologien von Halbleitersensoren“: Die VL vermittelt die Grundlagen zur Herstellung von Mikrosystemen. Der Schwerpunkt der Vorlesung liegt hierbei auf den Mikrofertigungsprozessen und der Siliziumtechnologie, den mikromechanische Strukturierungs-(anisotropes Ätzen, DRIE) und Bondprozessen (Eutectic Bonding, Fusion Bonding). Praktikum „Technologien und Werkstoffe der Mikrosystemtechnik“: Das PR bietet die Möglichkeit, den Inhalt der VL „Herstellungstechnologien für Mikrosensoren“ durch praktische Anwendung zu vertiefen. Das Praktikum vereint die seminargestützte Vertiefung der wichtigsten Mikrofertigungstechnologien mit der praktischen Durchführung ausgewählter Mikrofertigungsprozesse im Reinraum und Speziallaboren. Anhand des Beispiels eines Silizium-Drucksensors werden unter anderem folgende Themen bearbeitet: Reinraumtechnik, Waferhandling, Reinigungsprozesse, Messtechnik, Photolithographie, Siliziumstrukturierung, Galvanik, Bonden und Testen.

Modulbestandteile

Pflichtgruppe:

Die folgenden Veranstaltungen sind für das Modul obligatorisch:

Lehrveranstaltungen	Art	Nummer	Turnus	Sprache	SWS	VZ
Herstellungstechnologien von Halbleitersensoren	VL	0430 L 411	WiSe	Keine Angabe	2
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystemtechnik	PR	0431 L 911	WiSe	Keine Angabe	4

Arbeitsaufwand und Leistungspunkte

Herstellungstechnologien von Halbleitersensoren (VL):

Aufwandbeschreibung	Multiplikator	Stunden	Gesamt
Präsenzzeit	15.0	2.0h	30.0h
Vor-/Nachbereitung	15.0	2.0h	30.0h
			60.0h(~2 LP)

Technologien und Werkstoffe der Mikrosystemtechnik (PR):

Aufwandbeschreibung	Multiplikator	Stunden	Gesamt
Präsenzzeit	15.0	4.0h	60.0h
Vor-/Nachbereitung	15.0	4.0h	60.0h
			120.0h(~4 LP)

Der Aufwand des Moduls summiert sich zu 180.0 Stunden. Damit umfasst das Modul 6 Leistungspunkte.

Beschreibung der Lehr- und Lernformen

Die Lehrinhalte werden vermittelt durch eine Vorlesungen und einen Praktikum. The module content will be taught with a lecture and a practical exercise.

Voraussetzungen für die Teilnahme / Prüfung

Wünschenswerte Voraussetzungen für die Teilnahme an den Lehrveranstaltungen:

There are no prerequisites for registration for this module.

Verpflichtende Voraussetzungen für die Modulprüfungsanmeldung:

Dieses Modul hat keine Prüfungsvoraussetzungen.

Abschluss des Moduls

Benotung

benotet

Prüfungsform

Mündliche Prüfung

Sprache

Deutsch

Dauer/Umfang

Keine Angabe

Dauer des Moduls

Für Belegung und Abschluss des Moduls ist folgende Semesteranzahl veranschlagt:
1 Semester.

Dieses Modul kann in folgenden Semestern begonnen werden:
Wintersemester.

Maximale teilnehmende Personen

Dieses Modul ist nicht auf eine Anzahl Studierender begrenzt.

Anmeldeformalitäten

For the participation in the practical exercises, a registration with the lecturer is recommended due to space limitations.

Literaturhinweise, Skripte

Skript in Papierform

Verfügbarkeit: nicht verfügbar

Skript in elektronischer Form

Verfügbarkeit: nicht verfügbar

Literatur

Empfohlene Literatur
Keine empfohlene Literatur angegeben

Zugeordnete Studiengänge

Semester:

Zeige auch ausgelaufene Studiengänge und StuPOs

Diese Modulversion wird in folgenden Studiengängen verwendet:

	Studiengang / StuPO	StuPOs	Verwendungen	Erste Verwendung	Letzte Verwendung
Dieses Modul findet in keinem Studiengang Verwendung.

Studierende anderer Studiengänge können dieses Modul ohne Kapazitätsprüfung belegen.

Sonstiges

Keine Angabe