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#40250 / #3

SS 2017 - WS 2017/18

Deutsch

Methoden und Anwendungen der Halbleitertechnik

6

Boit, Christian

benotet

Mündliche Prüfung

Zugehörigkeit


Fakultät IV

Institut für Energie und Automatisierungstechnik

34311700 FG Sensorik und Aktuatorik / Messtechnik

Keine Angabe

Kontakt


E 3

Kerst, Uwe

uwe.kerst@tu-berlin.de

Lernergebnisse

Die Studierenden kennen und verstehen die vielfältigen Aspekte und grundlegenden Methoden modernen Qualitätswesens. Ein Schwerpunkt liegt in der Erarbeitung statistischer Verfahren, wie sie z.B. in der Halbleiterfertigung angewendet werden. Sie sind ist in der Lage die die qualitätsrelevanten Fragestellungen in einem industriellen Prozess (Entwurf und Fertigung) zu bearbeiten und verstehen die notwendigen quantititativen und qualitativen Werkzeuge. Grundlegende Kenntnisse zu den aktuellen Themen wie IC Debug für Nanometer-Technologien oder Kohlenstoff-Nanoröhrchen Technologie sind verinnerlicht.

Lehrinhalte

In der Veranstaltung "Ausgewählte Kapitel der Halbleiterbauelemente" werden in Form eines Seminars aktuelle Themen im Bereich der Halbleiterindustrie von den Studierenden selbst erarbeitet und vorgetragen. Die Vorlesung "Qualität und Zuverlässigkeit in der Halbleitertechnik" befasst sich mit dem Qualitätsbegriff im Ingenieurswesen am Beispiel der Halbleiterindustrie und deren Besonderheiten. Es werden statistische Grundlagen sowie Konzepte des Qualitätsmanagements vermittelt. Eine Einbettung des Stoffs in die "historisch" gewachsenen Strukturen, erleichtert die Verinnerlichung. Bei Interesse kann in einem separaten Modul diese Vorlesung durch eine Übung ergänzt werden. Die Veranstaltung "Carbon nanotube based electronic devices" beschäftigt sich mit den grundlegenden Funktionen von eindimensionalen Kohlenstoffröhrchen und bespricht aktuelle Forschungsinhalte und Anwendungen auf diesem Gebiet. Die Veranstaltung "IC Debug für Nanoscale Technologien" behandelt Forschung zur Methodenentwicklung für interne Signalverfolgung von FinFET-Technologien im GHz-Regime, wo weder optische Wechselwirkungen im nahen IR-Bereich noch gängige Partikelstrahl-Techniken erfolgreich sind. Wege zu neuen Techniken werden hier entwickelt.

Modulbestandteile

Wahlpflicht:

Aus den folgenden Veranstaltungen muss/müssen 6 Leistungspunkte abgeschlossen werden.

LehrveranstaltungenArtNummerTurnusSpracheSWSVZ
Auf Kohlenstoff-Nanoröhren basierte elektronische Bauelemente (Carbon nanotube based electronic devices)VLSoSeKeine Angabe2
Ausgewählte Kapitel der HalbleiterbauelementeSEM0431 L 000WiSe/SoSeKeine Angabe2
IC Debug für Nanoscale TechnologienVLWiSeKeine Angabe2
Qualität und Zuverlässigkeit in der HalbleitertechnikVLWiSeEnglisch2

Arbeitsaufwand und Leistungspunkte

Auf Kohlenstoff-Nanoröhren basierte elektronische Bauelemente (Carbon nanotube based electronic devices) (VL):

AufwandbeschreibungMultiplikatorStundenGesamt
Präsenzzeit15.02.0h30.0h
Vor-/Nachbereitung 15.04.0h60.0h
90.0h(~3 LP)

Ausgewählte Kapitel der Halbleiterbauelemente (SEM):

AufwandbeschreibungMultiplikatorStundenGesamt
Präsenzzeit15.01.0h15.0h
Vor-/Nachbereitung 15.05.0h75.0h
90.0h(~3 LP)

IC Debug für Nanoscale Technologien (VL):

AufwandbeschreibungMultiplikatorStundenGesamt
Präsenzzeit15.02.0h30.0h
Vor-/Nachbereitung15.04.0h60.0h
90.0h(~3 LP)

Qualität und Zuverlässigkeit in der Halbleitertechnik (VL):

AufwandbeschreibungMultiplikatorStundenGesamt
Präsenzzeit15.02.0h30.0h
Vor-/Nachbereitung15.04.0h60.0h
90.0h(~3 LP)
Der Aufwand des Moduls summiert sich zu 180.0 Stunden. Damit umfasst das Modul 6 Leistungspunkte.

Beschreibung der Lehr- und Lernformen

Die Lehrinhalte werden vermittelt in Vorlesungen (VL) und Seminaren (SE).

Voraussetzungen für die Teilnahme / Prüfung

Wünschenswerte Voraussetzungen für die Teilnahme an den Lehrveranstaltungen:

- mathematisch-physikalische Kenntnisse - Interesse an Halbleiter-Eigenschaften sowie an experimentellem Arbeiten Wünschenswerte Voraussetzungen für "IC Debug für Nanoscale Technologien": - Besuch des Moduls "Debug und Analyse von Halbleiterbauelementen"

Verpflichtende Voraussetzungen für die Modulprüfungsanmeldung:

1. Voraussetzung
Modul40248 [Physik und Technologie der Halbleiterbauelemente] bestanden

Abschluss des Moduls

Benotung

benotet

Prüfungsform

Mündliche Prüfung

Sprache

Deutsch

Dauer/Umfang

60 Minuten

Dauer des Moduls

Für Belegung und Abschluss des Moduls ist folgende Semesteranzahl veranschlagt:
1 Semester.

Dieses Modul kann in folgenden Semestern begonnen werden:
Winter- und Sommersemester.

Maximale teilnehmende Personen

Dieses Modul ist nicht auf eine Anzahl Studierender begrenzt.

Anmeldeformalitäten

Prüfungsamt oder ggf. Qispos

Literaturhinweise, Skripte

Skript in Papierform

Verfügbarkeit:  nicht verfügbar

 

Skript in elektronischer Form

Verfügbarkeit:  verfügbar
Zusätzliche Informationen:
Wird über den entsprechenden ISIS-Kurs des Semesters bereitgestellt.

 

Literatur

Empfohlene Literatur
Keine empfohlene Literatur angegeben

Zugeordnete Studiengänge


Diese Modulversion wird in folgenden Studiengängen verwendet:

Studiengang / StuPOStuPOsVerwendungenErste VerwendungLetzte Verwendung
Dieses Modul findet in keinem Studiengang Verwendung.

Studierende anderer Studiengänge können dieses Modul ohne Kapazitätsprüfung belegen.

Sonstiges

Die enthaltene einzelne Vorlesung "Qualität und Zuverlässigkeit in der Halbleitertechnik" (VL) kann hier nicht angerechnet werden, falls sie bereits im Gesamtmodul "Qualität und Zuverlässigkeit in der Halbleitertechnik" (VL+UE) angerechnet wurde.