Lehrinhalte
Bestandteile des Moduls sind eine Vorlesung (VL) und ein Praktikum (PR) in den Laboren des Forschungsschwerpunkts Technologien der Mikroperipherik.
Die VL vermittelt die Grundlagen zur Herstellung von Silizium-Mikrosystemen (Mikrosensoren, CMOS, Mikroaktuatoren). Der Schwerpunkt der Vorlesung liegt hierbei auf den Mikrofertigungsprozessen und der planaren Siliziumtechnologie, den mikromechanischen Strukturierungs- (isotropes, anisotropes Ätzen, DRIE) und Bondprozessen (Eutectic Bonding, Fusion Bonding).
Das PR bietet die Möglichkeit, den Inhalt der VL „Herstellungstechnologien für Mikrosensoren“ durch praktische Anwendung zu vertiefen. Das Praktikum vereint die seminargestützte Vertiefung der wichtigsten Mikrofertigungstechnologien mit der praktischen Durchführung ausgewählter Mikrofertigungsprozesse im Reinraum und in Speziallaboren. Anhand des Beispiels eines Silizium-Drucksensors werden unter anderem folgende Themen bearbeitet: Reinraumtechnik, Waferhandling, Reinigungsprozesse, Messtechnik, Photolithographie, Siliziumstrukturierung, Galvanik, Bonden und Testen.
