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Fundamentals of Vacuum and Plasma Process Technologies (Vorlesung)

Veranstaltung

LV-Nummer
Gesamt-Lehrleistung - UE
Semester SoSe 2023
Veranstaltungsformat LV / Vorlesung
Gruppe
Organisationseinheiten Technische Universität Berlin
↳ Fakultät IV
↳     Institut für Hochfrequenz und Halbleiter-Systemtechnologien
↳         34325800 FG S-Professur Technologie für Dünnschicht-Bauelemente
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Ansprechpartner*innen
Muydinov, Ruslan
Verantwortliche
Sprache Englisch

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