Anzeigesprache
Zur Modulseite PDF generieren

#40208 / #3

SS 2017 - SS 2019

Deutsch

Herstellungstechnologien für Halbleitersensoren

6

Lang, Klaus-Dieter

benotet

Portfolioprüfung

Zugehörigkeit


Fakultät IV

Institut für Hochfrequenz und Halbleiter-Systemtechnologien

34325000 FG Werkstoffe der hetero-Systemintegration

Keine Angabe

Kontakt


TIB 4/2-1

Krahn, Sandra

lehre@whs.tu-berlin.de

Lernergebnisse

Kenntnisse .. - .. über wesentliche Verfahren und Technologien der Mikrosystemtechnik und der Aufbau und Verbindungstechnik

Lehrinhalte

Bestandteile des Moduls sind eine Vorlesung und ein Praktikum in den Laboren des Forschungsschwerpunkts Technologien der Mikroperipherik. Vorlesung „Herstellungstechnologien von Halbleitersensoren“: Die VL vermittelt die Grundlagen zur Herstellung von Mikrosystemen. Der Schwerpunkt der Vorlesung liegt hierbei auf den Mikrofertigungsprozessen und der Siliziumtechnologie, den mikromechanische Strukturierungs-(anisotropes Ätzen, DRIE) und Bondprozessen (Eutectic Bonding, Fusion Bonding). Praktikum „Technologien und Werkstoffe der Mikrosystemtechnik“: Das PR bietet die Möglichkeit, den Inhalt der VL „Herstellungstechnologien für Mikrosensoren“ durch praktische Anwendung zu vertiefen. Das Praktikum vereint die seminargestützte Vertiefung der wichtigsten Mikrofertigungstechnologien mit der praktischen Durchführung ausgewählter Mikrofertigungsprozesse im Reinraum und Speziallaboren. Anhand des Beispiels eines Silizium-Drucksensors werden unter anderem folgende Themen bearbeitet: Reinraumtechnik, Waferhandling, Reinigungsprozesse, Messtechnik, Photolithographie, Siliziumstrukturierung, Galvanik, Bonden und Testen.

Modulbestandteile

Pflichtgruppe:

Die folgenden Veranstaltungen sind für das Modul obligatorisch:

LehrveranstaltungenArtNummerTurnusSpracheSWSVZ
Herstellungstechnologien von HalbleitersensorenVL0430 L 411WiSeKeine Angabe2
Technologien und Werkstoffe der MikrosystemtechnikPR0431 L 911 WiSeKeine Angabe4

Arbeitsaufwand und Leistungspunkte

Herstellungstechnologien von Halbleitersensoren (VL):

AufwandbeschreibungMultiplikatorStundenGesamt
Präsenzzeit15.02.0h30.0h
Vor-/Nachbereitung15.02.0h30.0h
60.0h(~2 LP)

Technologien und Werkstoffe der Mikrosystemtechnik (PR):

AufwandbeschreibungMultiplikatorStundenGesamt
Präsenzzeit15.04.0h60.0h
Vor-/Nachbereitung15.04.0h60.0h
120.0h(~4 LP)
Der Aufwand des Moduls summiert sich zu 180.0 Stunden. Damit umfasst das Modul 6 Leistungspunkte.

Beschreibung der Lehr- und Lernformen

Die Lehrinhalte werden vermittelt durch eine Vorlesung und ein Praktikum. The module content will be taught with a lecture and a practical exercise.

Voraussetzungen für die Teilnahme / Prüfung

Wünschenswerte Voraussetzungen für die Teilnahme an den Lehrveranstaltungen:

Voraussetzung für die Teilnahme am Praktikum "Technologien und Werkstoffe der Mikrosystemtechnik" ist die abgeschlossene Teilnahme an der Lehrveranstaltung "Herstellungstechnologien von Halbleitersensoren". The prerequisite for participation in the practical exercise "Technology and Materials in Microsystems" is the successfull completion of the manditory course "Herstellungstechnologien von Halbleitersensoren".

Verpflichtende Voraussetzungen für die Modulprüfungsanmeldung:

Dieses Modul hat keine Prüfungsvoraussetzungen.

Abschluss des Moduls

Benotung

benotet

Prüfungsform

Portfolioprüfung

Art der Portfolioprüfung

Keine Angabe

Sprache

Deutsch

Prüfungselemente

NamePunkte/GewichtKategorieDauer/Umfang
PR - Ergebnisprüfung - Protokollierte praktische Leistung 27praktischKeine Angabe
PR - Punktuelle Leistungsabfrage - Schriftlicher Test 40schriftlich90 Minuten
VL - Lernprozessevaluation - Mündliche Rücksprache 33mündlich30 Minuten

Notenschlüssel

Notenschlüssel »Notenschlüssel 2: Fak IV (2)«

Gesamtpunktzahl1.01.31.72.02.32.73.03.33.74.0
100.0pt95.0pt90.0pt85.0pt80.0pt75.0pt70.0pt65.0pt60.0pt55.0pt50.0pt

Prüfungsbeschreibung (Abschluss des Moduls)

Insgesamt können 100 Portfoliopunkte erreicht werden Im Rahmen der Lehrveranstaltungen sind jeweils verschiedene Studienleistungen zu erbringen. Ihre Art und Gewichtung in Portfoliopunkten sind in der unten stehenden Tabelle aufgeführt. Die Gesamtnote gemäß §47 (2) AllgStuPO wird nach dem Notenschlüssel 2 der Fakultät IV ermittelt. All together, 100 portfolio points can be achieved. During the courses there are different requirements. The type and weight of the portfoliopoints are described in the following table.

Dauer des Moduls

Für Belegung und Abschluss des Moduls ist folgende Semesteranzahl veranschlagt:
1 Semester.

Dieses Modul kann in folgenden Semestern begonnen werden:
Wintersemester.

Maximale teilnehmende Personen

Dieses Modul ist nicht auf eine Anzahl Studierender begrenzt.

Anmeldeformalitäten

Für die Teilnahme am Praktikum ist wegen beschränkter Teilnehmerzahl eine Anmeldung erforderlich (max. Teilnehmer: 12). There is a maximum participant number of 12 for participation in the practical exercise. For this reason, it is recommended that participants register by email with the lecturers beforehand.

Literaturhinweise, Skripte

Skript in Papierform

Verfügbarkeit:  verfügbar

 

Skript in elektronischer Form

Verfügbarkeit:  nicht verfügbar

 

Literatur

Empfohlene Literatur
Keine empfohlene Literatur angegeben

Zugeordnete Studiengänge


Diese Modulversion wird in folgenden Studiengängen verwendet:

Studiengang / StuPOStuPOsVerwendungenErste VerwendungLetzte Verwendung
Dieses Modul findet in keinem Studiengang Verwendung.

Sonstiges

Keine Angabe